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P22系列一維θx壓電偏轉(zhuǎn)鏡

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)的壓電偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及零靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度，提供亞微弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達6mrad, 具有極快的響應(yīng)速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除等）及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

特點

• 一維θx軸偏轉(zhuǎn)

• 偏轉(zhuǎn)角度達3mrad

• 亞毫秒響應(yīng)時間

• 閉環(huán)定位精度高

應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 激光掃描

• 隔行掃描、抖動

• 光學(xué)濾波器/開關(guān)

• 光束偏轉(zhuǎn)

• 樣品檢測

運動方式

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡如下圖所示安裝時，它產(chǎn)生上下俯仰運動，如下圖所示。

安裝固定與鏡片粘接

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡的鏡片負載面為φ15mm的平面，鏡片通過粘接方式固定于該面，我們可為您將鏡片粘接好，便于您后續(xù)使用，收到壓電偏轉(zhuǎn)鏡后只需安裝，即可使用。

P22.U3S壓電偏轉(zhuǎn)鏡在底端具有兩個用于固定的M3安裝螺紋孔。

結(jié)構(gòu)原理與控制

P22.U3S偏轉(zhuǎn)鏡的移動平面由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用芯明天差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

一個輸出通道的壓電控制器即可驅(qū)動P22.U3S壓電偏轉(zhuǎn)鏡，可選用芯明天E53.D壓電控制器，體積小，功能全，具有閉環(huán)伺服控制功能，可通過外部模擬信號或計算機軟件進行控制，操作便捷、易于集成。

技術(shù)參數(shù)

型號：P22.U3S

運動自由度：θx

標稱行程（0~120V）：2.5mrad（≈ 520秒）

行程范圍（0~150V）：3mrad（≈ 600秒）

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.3/0.1μrad

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.15%F.S.

空載諧振頻率：3kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間：3/0.8ms

空載頻率（10%行程）：100Hz

空載頻率（100%行程）：40Hz

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋼

重量：80g

注：以上參數(shù)是采用 E00/E01系列壓電控制器測得。