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激光光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用，同時對其性能要求也越來越高。壓電陶瓷驅(qū)動的偏轉(zhuǎn)鏡具有更高的精度和更高的頻率，采用應(yīng)變傳感器的閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動器直接驅(qū)動，多用于圖象處理與穩(wěn)定、激光掃描與通信、光束偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定等系統(tǒng)。

特點

• 二維θx、θy偏轉(zhuǎn)

• 偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)12.5mrad

• 毫秒響應(yīng)時間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

• 可定制適于航天應(yīng)用版本、真空版本

閉環(huán)曲線

P33.T8S壓電偏轉(zhuǎn)鏡的電壓與偏轉(zhuǎn)角度曲線。

帶載階躍時間

P33.T8S壓電偏轉(zhuǎn)鏡帶載50g負(fù)載達(dá)滿行程的階躍時間約40ms。

技術(shù)參數(shù)

型號：P33.T8S

運動自由度：θx θy

行程范圍@120V：10mrad（≈2060秒）/±5mrad(≈±1030秒)

行程范圍@150V：12.5mrad（≈2500秒）/±6.25mrad(≈±1250秒)

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1秒)

閉環(huán)線性度：0.25%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：3.1kHz

閉環(huán)載階躍時間：8ms

靜電容量：14.5μF/軸

材質(zhì)：鋼

重量：340g

偏轉(zhuǎn)臺長度：91mm

配套壓電控制器

壓電控制器的主要功能是將微弱的外部模擬輸入信號，通過內(nèi)部功率放大模塊將微弱的信號放大到能夠滿足對壓電偏轉(zhuǎn)鏡驅(qū)動的要求。P33.T8S配套的E70系列壓電控制器具有大功率、高帶寬、低紋波噪聲等特點，通過優(yōu)化傳感伺服模塊提供了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計保證了控制的高頻響應(yīng)速度。