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P66系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，內(nèi)部采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的1~3維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺，可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適用于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正，顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。

1~3維P66系列壓電納米定位臺

P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu)，X向最大位移2.4μm，開環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm，承載可達(dá)2kg，諧振頻率可達(dá)12kHz，它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，定制航空連接器，可在真空環(huán)境下使用，芯明天可定制真空工作環(huán)境使用產(chǎn)品達(dá)2E-11mbar。P66.X2K-B1產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

一維X向運(yùn)動(dòng)

精度可達(dá)0.5nm

承載可達(dá)2kg

諧振頻率可達(dá)12kHz

毫秒級響應(yīng)時(shí)間

定制采用航空連接器

真空版本，可選配閉環(huán)版本

產(chǎn)品應(yīng)用

干涉

顯微/掃描

光學(xué)測量

微加工/精密控制

計(jì)量

技術(shù)參數(shù)

型號	P66.X2K-B1Z
運(yùn)動(dòng)自由度	X
驅(qū)動(dòng)控制	1路驅(qū)動(dòng)
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	1.9μm
行程范圍（0~150V）	2.4μm
開環(huán)分辨率	0.5nm
空載諧振頻率	12kHz
帶載諧振頻率	10kHz@20g
階躍時(shí)間	2ms
靜電容量	0.58μF
工作溫度范圍	-20~80℃
承載能力	2kg
材質(zhì)	不銹鋼、鋁合金
重量	310g

配套控制器

E53.C1K非常適用于驅(qū)動(dòng)P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺。它是一款小體積單通道壓電控制器，24VDC/1.5A供電，采用模擬或數(shù)字控制，通信接口為USB/RS-422/RS-232，帶寬10kHz，尺寸為148mm×27.5mm×80mm，體積小巧，易集成。

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