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宏微復合跨尺度兩級驅(qū)動精密定位技術是****、航空航天、精密加工、生物科學和精密光學等領域的關鍵支撐技術之一。隨著科學技術的發(fā)展，精密定位技術對定位系統(tǒng)行程和精度的需求越來越大，宏微復合兩級驅(qū)動精密定位技術克服了傳統(tǒng)的單一驅(qū)動定位技術難于實現(xiàn)大行程、高精度的技術難題，在體積、行程、響應速度、定位精度等方面均具有較大的優(yōu)勢。

哈爾濱芯明天科技有限公司以實際應用為主進行研發(fā)，克服各項技術難題，將手動調(diào)節(jié)微動臺與壓電納米定位臺相結合，將定位臺的行程擴展到幾十毫米，同時可達到納米級的分辨率，以滿足不同大行程、高精度要求的應用。

本次介紹的就是一款宏微復合跨尺度兩級驅(qū)動的壓電精密定位臺，它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個方向產(chǎn)生運動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實物外觀如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的一端具有移動臺面，臺面尺寸為60mm×60mm，在移動臺面上配有16個M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個112mm×112mm的底座，在底座上具有8個φ8mm及3個φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復合平臺的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺采用了手動千分尺調(diào)節(jié)，該千分尺的行程為4mm，單圈調(diào)節(jié)為500μm。

該宏微復合平臺的壓電驅(qū)動部分是由壓電陶瓷來驅(qū)動，施加電壓信號來控制。通過芯明天壓電控制器對壓電平臺內(nèi)部壓電陶瓷施加電壓信號，壓電陶瓷產(chǎn)生相應的位移，再由柔性結構傳遞到移動臺面，從而使得移動臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動。

該部分壓電驅(qū)動的連接是通過引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復合平臺相連的。該套壓電系統(tǒng)的引線兩端都采用連接器連接。

E01.D3系列壓電控制器非常適于驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺，它具有閉環(huán)伺服模塊，可進行伺服控制；此外，可通過上位機軟件進行控制。

E01.D3系列壓電控制器驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的基本參數(shù)如下。

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